OPTM series 嵌入型

产品信息

 特　点

●膜厚测量范围1nm～92μm（换算为SiO2）

●膜厚值高重复精度

●1点1秒以内的高速测量

●最小小点Φ3μm）中瞄准模式

●最适合图案晶片的膜厚映射

●能够取得图案对准用图像

 

装置组装示意图

 

测量数据示意图

 

测量光点周边图像

 

适应过程示例

CMP工艺

蚀刻工艺

成膜工艺等

式样