Load Port对应膜厚测量系统 GS-300

●Φ支持到300mmEFM单元备用端口的集成

●实现嵌入在晶片中的布线图案的图案对齐

●支持半导体工艺的高吞吐量要求

●支持槽口对齐功能

●小尺寸规格

●高精度自动校准单元