分光干涉式晶圆膜厚仪 SF-3

●非接触式、非破坏性光学式膜厚检测
●采用分光干涉法实现高度检测再现性
●可进行高速的即时研磨检测
●可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测
●可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中
●体积小、省空間、设备安装简易
●可对应线上检测的外部信号触发需求
●采用最适合膜厚检测的独自解析演算法。(已取得专利)
●可自动进行膜厚分布制图(选配项目)