MHS400V-4P探针冷热台

MHS400V-4P探针冷热台是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品。这款探针冷热台拥有高精度的探针位移平台，具有良好的真空性能和精准的温控系统。

分类：显微冷热台

描述

温度范围： -196℃~600℃
加热区： φ30mm
探针行程： 14mm
探针位移精度 1μm
探针针尖直径（默认） 100μm
物镜工作距离： 15mm
通光孔直径： 2mm
最大升温速率： 150℃/min
最慢升温速率：0.1℃/min
观察窗： φ40mm
温控精度： 0.1℃
极限真空： 1pa（机械泵）,5×10^(-3)pa(分子泵)
支持反射/透射模式

型号		MHS300V-4P	MHS400V-4P	MHS600G-4P
温控模块	加热/制冷方式	电阻加热，液氮制冷
	温控范围	-190~300°C*	-190~400°C*	-190~600°C*
	温度稳定性	±0.1°C
	温度分辨率	±0.1°C
	最大升温速率	0~100°C/min (可定点/程序段控温)
	温控方式	PID
	温度传感器	PT100
光学特性	光路	反射/透射光路（可选）
	视窗材质	石英玻璃*
	视窗尺寸	φ40mm*
	视窗厚度	0.5mm*
	物镜工作距离	15mm*
	透光孔	φ2mm*
电学特性	探针	移动探针模组x4 *,手动调整XYZ
	探针行程	13mm
	探针位移精度	1μm
	探针接口	SMA 接口x4*
	探针直径	10 / 50 / 100 μm*
结构特性	样品台尺寸	φ30mm*
	样品台材质	纯银*
	外形尺寸	180x112x26*
	样品腔高度	3mm*
	腔室	气密
	外壳冷却	循环水
基本配置	冷热台x1、温控系统x1、低温系统x1、液氮罐2Lx1、温控软件
选配	电脑主机/平板电脑/触控屏/安装支架/真空系统/其他定制
备注	以上为默认参数 * 为可定制项
其他可选型号	按需求进行配置

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