SIRM红外体微缺陷分析仪

SIRM是非接触和非破坏型光学检测设备，对体微缺陷，如氧化物和金属沉淀，位错、堆垛层错，体材料中的滑线和空隙等进行测试。

这个技术也可对GaAs 和 InP等复合材料进行测试。