CV-1500非接触CV测试系统

CV-1500，用于测试界面和介电层的科研平台，基于SDI专利Corona-Kelvin技术，可以进行非接触C-V/I-V测试。

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分类： CV测试

描述

Capability:

Semiconductor Surface Barrier-V_s_b 表面势垒
Oxide Total Charge -Q_tot 氧化物总电荷
Interface Trapped Charge-Q_it 界面电荷
Interface Trap Density-D_it 界面态密度
Di Spectrum:D_it vs. V_s_b
Dielectric Capacitance -C_D and thickness -CET 介电层电容和电学总厚度
Dielectric Leakage 介电层漏电

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