LBIC-S1光电流 IV/IT/ 成像测试系统

微纳光电成像测试系统是一种利用显微成像手段，通过不同波长激光进行探测，分析表征光电子器件的短路电流分布，表面缺陷，反射率等参数。并通过扫描获得的图像，分析各种参数的平面均匀性，为光电器件的结构优化提供参考。激光通由显微镜聚焦到样品表面，激光激发样品产生光电流，光电流信号通过探针引出至电流源表，再通过软件读出。扫描时，通过电动位移台的移动，激光的光斑在样品的 XY 方向上扫描移动，软件记录每一个激光聚焦光斑的位置和其对应的电流值，在软件上同步描绘出光电流成像图，显示了样品的电流分布。

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分类：显微光电流

描述

技术参数

激光器（光源）	标配532nm激光器，能量稳定性1%@4小时
显微镜模块	反射式/透射式LED照明物镜：标配（20X， WD=7.5mm）超长工作距离最大扫描范围：260 x 200 μm （20x物镜下）位置重复性：小于1 μm 最小扫描步长：0.2μm 激光光斑：2μm
数据采集	电流源表：Keithley 2450 测量范围：1nA ・ 1A 暗噪声：50pA 分辨率：20fA
探针台模块	直径65mm真空吸附卡盘探针座和样品整体二维移动，样品位置单独二维移动，样品位置移动行程25mm，分辨率5μm 探针座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm 探针：钨针，直径5μm，10μm，20μm可选
软件	光电流扫描（Mapping）：可以设定固定的电压，逐点获取电流值 I-V曲线扫描（Mapping）：可以设定指定的电压区间，逐点获取I-V曲线指定区域扫描（Mapping）
光谱响应度测试（选配）	光谱范围200-1100nm，可以扩展到2500nm 光谱响应度曲线量子效率曲线偏压设置功能
激光器（选项）	波长：405nm或者635nm可选，其他波长咨询销售能量稳定性：小于1%@2个小时功率：10mW和30mW（可选）

测试案例：

LBIC-S1光电流 IV/IT/ 成像测试系统

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