全电动硅波导耦合测试台

独立式多维度高性能观察系统

0.7-4.5X光学放大倍数,最大电子放大倍数270倍,1:7变焦 四维调节，行程40mm，含不锈钢立柱，不锈钢焊接底板，转接扣，转接板，镜头扣等夹具 镜头工作距离86mm 200万像素HDMI相机，C接口，带十字线 带高清显示器，环形灯，带测量，拍照，录像，绘图等 镜头可以实现0-90°旋转

 

中间芯片台

定制：真空吸附或者机械夹持芯片夹具 XY轴中间调节结构，13mm行程，1微米灵敏度，θY轴中间调节结构，360°行程，55”/格（Y轴是垂直轴）

 

 

六轴调整架

台面尺寸： 125x125mm 粗行程：50mm ; 最小步进可以达到10nm 带50nm光栅尺反馈 最大速度:：20mm/s 重复精度： +/-0.01um ThetaXYZ: ±6 0.0025°,±8°, 0.003°； ±8°,0.0032 °； 交叉滚柱导轨 含转接夹具三轴共心设计