PSM-4K系列闭循环低温探针台

PSM-4K系列低温探针台是一款闭循环低温探针台，紧凑型及低振动的设计，能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个＜5K-350K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成材料/器件的IV、CV、光学以及微波等参数检测，实现低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。

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分类：液氮高低温探针台

描述

产品概述

4K闭循环低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。

PSM-4K系列低温探针台是的一款性能优越的闭循环低温探针台，其紧凑型以及低振动的设计，能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个＜5K-350K高低温真空测试环境。采用闭循环制冷，无需消耗液氦，温度4.5K。

特点
• 采用闭循环制冷，无需消耗液氦，温度4.5K。
• 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。
• 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足4英寸样品的测试。
• 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。
• 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@4.5K-350K。
• 测试温度范围宽，支持4.5K-350K连续变温。
• 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。

技术参数

参数和指标：

探针台主机分类
型号	PSM-4K-2	PSM-4K-4
温度范围	4.5K–350K	4.5K–350K
控温稳定性	+/-50mK
振动	＜1μm
样品座
类型及材料	无氧铜接地镀金样品座
尺寸	2寸	4寸
可选规格	绝缘样品座（温度只能到350K）同轴样品座（温度只能到350K）三同轴样品座（温度只能到350K）
探针臂
类型	直流探针臂
数量	4
接头及电缆	三同轴接头+极细同轴低温电缆
漏电流	100fA@1V 真空环境中
信号频率	DC–50MHz
匹配阻抗	50欧姆
位移范围	X+/- 35mm,Y+/- 12.5m Z +/-6.5m R+/-10°	X+/- 50mm,Y+/- 12.5m Z +/-6.5m R+/-10°
光学系统
显微镜放大倍数	10–180倍
分辨率	3微米
视场	22mm
工作距离	90–100mm
真空腔
材料	铝合金
腔体容积	9L	12L
整体尺寸	900900600	900900600
腔体内径	280mm	280mm
视窗尺寸	50mm	100mm
真空腔体窗口	标准石英窗口
防辐射屏窗口	红外吸收窗口
真空度	5E-4 torr
预留接口	2个探针臂接口&2个电学接口
防辐射屏材料	不锈钢
冷却时间	120分钟到5K	150分钟到5K
冷源	GM制冷机
专用振动隔离桌
尺寸	800800800	900900800
桌推	固定脚&滚轮

PSM-4K系列闭循环低温探针台

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