PSM 系列标准室温手动探针台

产品概述

室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下的芯片、晶圆和器件的非破坏性测试。

PSM系列室温手动探针台是一款高品质的探针台能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。科学的桌面设计是学术和实验研究的选择。

特点
• 稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。
• 样品座可以放置8英寸的晶圆样品，采用多孔分区控制气体吸附固定。
• 移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±100mm的移动行程，使得样品测试和换样更加便捷。滑台采用磁力吸附固定。
• 可安装6个探针臂。
• 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。
• 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内。
• CCD放大倍数为180倍，工作距离为100mm。

技术参数

型号分类：

参数和指标：