高速LED光学特性仪 LE series

●与产线的控制信号同步

●通过光纤的自由的测试系统

●实现最短2ms～的光谱测量（LE-5400）

●同以往的产品相比，测量演算评价1个周期有可到半分钟以下的高速机型

分类：显微缺陷膜厚

测量项目

*亮度(kY)的值，因测量的LED和检出部的光学系不同，

只有在校准(距离、位置、方向)中有再现性时才算有效。

	LE-Series
分光方式	光柵分光 F=3 f=135 mm
感光元件	CCD (电子制冷)
测量波长范围	380 ~ 960 nm	300 ~ 800 nm	330 ~ 1100 nm	350 ~ 930 nm
波长精度※1	±0.3 nm※2	±0.3 nm※2	±0.5 nm※2	±0.3 nm※2
光纤规格※3	长约2m，金属包覆，固定口径约12mm，与LED间的距离通常为2 ~ 8mm左右(视LED指向性而不同)
功率	最大100VA
尺寸	280（H） × 296（D） × 160（W）mm
重量	约10kg

※1波长校正用光源对汞物理辉线之确认值。
※2JIS Z 8724规格。
※3可变更光纤尺寸、长度