深能级瞬态谱测试仪

深能级瞬态谱仪(DLTS)是检测半导体材料和器件缺陷和杂质的最好技术手段，它可以测定各种深能级相关参数，如深能级，俘获界面，浓度分布等。

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    分类：

    Capability:

    • High sensitivity 高灵敏度
    • C-V characterization 深能级C-V测试
    • Capture cross section measurement 俘获界面测试
    • Optical injection 光注入
    • Conductance transient measurements 瞬态电导测试
    • Sample quality test by I-V, C-V I-V/C-V 基础测试
    • Cryostats LN2,低温致冷

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