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M-SHP-X超高精密电动平移台
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M-SHP-X超高精密电动平移台

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产品描述
参数

M-SHP超高精密电动平移 台,闭环分辨率0.1μm,每 100mm行程直线度、平直度小于 6μm定位于超高精度要求的领域应用

 

特点:

· 加厚铝合金底座,基准面精密磨削,保证整体性能稳定

· 内置进口超高精密光栅尺,闭环分辨率可达0.1μm

· 进口超高等级滚珠丝杠,超高定位精度

· 进口超高等级交叉滚枉导轨,超高运动性能

· 标配三相步进电机,有效降低电移台运行时的振动和噪音

 

选型表:

型号

M-SHP-50-X

M-SHP-100-X

M-SHP-150-X

M-SHP-200-X

行程(mm)

50

100

150

200

滚珠丝杠导程(mm)

4

电机型号

FHB366-D(三相)

闭环分辨率(μm)

0.1

最大速度(mm/s)

40

重复定位精度(μm)

2

回程间隙(μm)

1

运动直线度(μm)

6

10

运动平直度(μm)

6

10

自重(Kg)

8.5

10.5

13.5

15

中心负载(Kg)

30

 

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